- химическое осаждение из паровой фазы с плазмой высокой плотности
- HDPCVD
химическое осаждение из паровой фазы с плазмой высокой плотности
—
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
- полупроводниковые приборы
EN
- HDPCVD
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии. academic.ru. 2015.
